Gleichstromgeneratoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

Perfektion im Blick

Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist eine neue Generation an kompakten, wassergekühlten DC-Generatoren. Dank ihres innovativen Arc-Managements ermöglichen diese Generatoren optimale Schichtqualitäten - und können so gepulste Generatoren in vielen Sputterprozessen ersetzen.

  • Schnelle Reaktionszeiten und eine auf das Minimum reduzierte Arc-Restenergie.
  • Dünne, homogene Schichten und hohe Abscheideraten, selbst in arc-reichen Prozessen.
Eigenschaft Nutzen
CompensateLine ermöglicht auch in arc-reichen Prozessen optimale Ergebnisse   Kostengünstige Alternative zu teuren, gepulsten DC-Generatoren
Minimale Arc-Restenergie und schnelle Erholzeiten   Deutlich erhöhter Produktionsertrag
Technologisch führende Lösung für DC-Sputteranwendungen   Hohe Schichtqualität und eine am Markt einzigartige Generatorenfunktionalität
Hohe Leistungsdichte bei sehr kompakter Bauweise   Einfache Systemintegration, auch bei Ausgangsleistungen von mehr als 40 Kilowatt
Bewährtes Generatorendesign und vollständige Wasserkühlung   Hohe Systemlaufzeit und reduzierter Wartungsaufwand

Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) wurde speziell für anspruchsvolle Sputterprozesse entwickelt. Ausgestattet mit dem technisch hochentwickelten Arc-Management CompensateLine, ermöglichen diese Generatoren optimale Beschichtungsergebnisse selbst in arc-reichen Sputterprozessen. Daher eignen sie sich optimal für Beschichtungsverfahren in der Solarzellenherstellung und der Architekturglasbeschichtung, in denen Prozesssicherheit und hoher Durchsatz von zentraler Bedeutung sind.

Gleichstromgeneratoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2)
Produkt Leistung
[kW]
Ausgangs-
spannung
[V]
Ausgangs-
strom
[A]
Kühlung
TruPlasma DC 3020 (G2) 20 1000 50 Wasser
TruPlasma DC 3040 (G2) 40 1000 100 Wasser
TruPlasma DC 3060 (G2) 60 1000 150 Wasser
TruPlasma DC 3080 (G2) 80 (2 x 40) 1000 200 Wasser
TruPlasma DC 3120 (G2) 120 (2 x 60) 1000 300 Wasser
TruPlasma DC 3180 (G2) 180 (3 x 60) 1000 450 Wasser
TruPlasma DC 3240 (G2) 240 (4 x 60) 1000 600 Wasser
TruPlasma DC 3300 (G2) 300 (5 x 60) 1000 750 Wasser
Änderungen vorbehalten. Maßgeblich sind die Angaben in unserem Angebot und unserer Auftragsbestätigung.

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)