Mittelfrequenzgeneratoren der TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Optimized for perfection

Die Produktfamilie TruPlasma MF Serie 7000 (G2) ist die erste Wahl für großflächige Beschichtungen mittels Doppel-Magnetron-Sputtern. Unsere jüngste MF-Familie erzielt eine bisher unerreichte Schichtqualität – selbst bei schwierigsten reaktiven Prozessen, bei gleichzeitig hoher Beschichtungsrate.

  • Optimierung des weltweit tausendfach bewährten TRUMPF Hüttinger MF-Konzeptes
  • Herausragendes Arc-Management, welches schnell und einfach an Ihren Prozess anpassbar ist
  • Neues benutzerfreundliches Bedienkonzept
Eigenschaft Nutzen
Überlegenes Arc-Management   Herausragende Schichtqualität und Produktivität
Hoher Betriebswirkungsgrad   Höchste Wirtschaftlichkeit über die gesamte Lebensdauer
Flexibles Kühlungskonzept   Stabile Prozessstromversorgung auch unter schwierigen Klimabedingungen
Breiter Betriebsspannungsbereich   Ohne technische Anpassungen weltweit einsetzbar
Effektive Zündhilfe   Verhindert Arc-Bildung und thermischen Stress an den Targets
Spannungsgeregelter Übergangsbereich   Problemloser Betrieb im Übergangsbereich (transition mode)
Breiter Frequenzbereich   Präzise Steuerung von Schichtqualität und Produktivität
Komfortable Bedienung   Effektive Konfiguration und Diagnose

MF-Generatoren werden vornehmlich bei der Produktion von Architekturglas, Flachbildschirmen, Touch Panels und Solarzellen eingesetzt. Die MF-Technologie von TRUMPF Hüttinger war und ist die richtige Wahl für eine große Palette dualer Magnetron-Sputterprozesse für den Auftrag ultradünner Schichten (Stärke: nm) von überlegener Qualität auf einem Substrat wie etwa Glas oder Kunststofffolie.

Mittelfrequenzgeneratoren der TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Produkt Leistung
[kW]
Frequenz
[kHz]
Ausgangs-
spannung
[V eff]
Ausgangs-
strom
[A]
Netzspannung
[V]
TruPlasma MF 7050 (G2) 50 20 - 50 oder 20 - 70 1100 110 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7050 (G2) 50 20 - 50 oder 20 - 70 540 300 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7075 (G2) 75 20 - 50 oder 20 - 70 1100 200 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7075 (G2) 75 20 - 50 oder 20 - 70 540 400 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7100 (G2) 100 20 - 50 oder 20 - 70 1100 225 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7100 (G2) 100 20 - 50 oder 20 - 70 540 400 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7120 (G2) 120 20 - 50 1100 400 (±10%) 380 - 480
TruPlasma MF 7150 (G2) 150 20 - 50 1100 400 (±10%) 380 - 480
Änderungen vorbehalten. Maßgeblich sind die Angaben in unserem Angebot und unserer Auftragsbestätigung.

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)